8月23日,精測電子首臺12寸晶圓外觀缺陷光學(xué)檢查機(jī)在精測電子蘇州產(chǎn)業(yè)園順利出機(jī)正式交付客戶,這是精測電子自主研發(fā)的晶圓外觀檢測設(shè)備首次成功交付客戶,標(biāo)志著精測電子在泛半導(dǎo)體檢測領(lǐng)域取得又一重要技術(shù)突破。
精測電子自主研發(fā)的晶圓外觀檢測設(shè)備主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓廠、封測廠及 MicroLED、 MiniLED新型顯示晶圓前后道缺陷檢測,主要采用顯微光學(xué)方案針對晶圓的μm級外觀缺陷進(jìn)行檢測及量測。同時可擴(kuò)展到晶圓Bumping 3D量測及 LED 3D量測應(yīng)用。
晶圓外觀檢查機(jī)設(shè)備軟算全自主開發(fā),擁有自主知識產(chǎn)權(quán),結(jié)合精測在質(zhì)檢領(lǐng)域的多年技術(shù)經(jīng)驗積累,助推晶圓光學(xué)檢測設(shè)備國產(chǎn)化應(yīng)用。
晶圓缺陷光學(xué)檢查機(jī)的順利交付是精測電子在泛半導(dǎo)體檢測板圖上的又一重大突破,未來,精測電子將繼續(xù)秉持著良率管理專家的行業(yè)定位,深耕品牌,精耕技術(shù),推動泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同進(jìn)步,助力行業(yè)快速發(fā)展。